淬火工艺中，冷却是完成热处理目的的重要进程，为坚持工件在真空热处理进程中特性，冷却剂和冷却工艺的挑选和制定是非常重要的，真空热处理厂则遍及采用油冷冷却以及气冷冷却的这两种方法。
　　油冷是一种性能价格比较高的一种冷却方法。在真空条件下，冷却油的冷却才干比在正常大气压下要低，这首要是因为工件外表蒸汽膜变厚，影响了冷却油的冷却才干，而真空淬火油的不断改进，使得其冷却强度跟着油面上气体压强下降而下降的程度比普通淬火油要小的多。而且能够通过冲入气体调整油面上气体压强而调整淬火油的冷却强度，在确保工件淬透的前提下，使用尽可能低的冷却速度，减少工件的应力和变形。

　　气体冷却则能够更好的坚持真空加热的工件良好的外表状态、减小真空热处理设备中液体冷却剂（真空淬火油）所占用的空间，简化真空淬火操作工艺。真空气淬^首要考虑的是其冷速，它与气体的种类、气体压力、气体流速以及加热设备的结构有关。 
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