真空镶嵌设备如何选择合适的真空泵?

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真空镶嵌设备如何选择合适的真空泵?

时间:2022-09-23 08:41:12 阅读:90
 真空泵作为真空镶嵌设备中的核心部分,其选择的质量会直接影响到真空镶嵌设备的使用和效率,而真空镶嵌设备又有不同的类型,所以学会选择真空镶嵌设备的真空泵是非常有必要的。
真空镶嵌设备如何选择合适的真空泵?

  1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若是工艺过程不支持,应选择无振动的泵或者采取防振动的一系列措施。
  2、了解被抽气体成分,气体中有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空镶嵌设备的真空泵的时候需要知道气体成分,针对被抽气体时需要选择相应的泵。若是气体中含有蒸气、颗粒以及腐蚀性的气体,需要考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备。3、真空泵在其工作压强下,可以排走真空设备工艺过程中产生的全部的气体量。
  4、正确地组合真空泵。有的时候选用一种泵不能满足抽气要求由于真空泵有选择性抽气,需要几种泵组合相互补充才能满足抽气的要求。如果钛升华泵对氢有很高的抽速,但是不能进行抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速两组合起来,则会使真空装置得到相应的真空度。
  5、真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时,应该选用各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等,如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染的措施。
  6、正确地选择真空泵的工作点。真空镶嵌设备中每种泵都有一定的工作压强范围。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内比较合适,而不能让它在25~30mmHg下长期的工作。
  7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选择无油性真空泵,或者把油蒸气排到室外。
  8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
  9、最后就是考虑真空泵的初装价格、运转及维修费用了,结合实际情况选择性价比高的真空泵。
  以上介绍了几种常见的真空镶嵌设备真空泵的选择方式,可以参考。不管怎么样选择真空镶嵌设备的零部件必须要去正规的商家,这样质量才有保障,而且在你不知道如何购买时,也有客服给出专业的建议。普锐斯就是不错的选择。
 
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